高(gao)溫高(gao)壓微觀(guan)可視化驅(qu)替(ti)裝置(zhi)

二(er)、儀器主要技術參數

1. 工(gong)作壓力(li)：常(chang)壓～50MPa，計(ji)量精度(du)：±0.1 MPa；

2. 工(gong)作溫(wen)度(du)：室溫～100℃，計(ji)量精度(du)：±0.1℃；

3. 流(liu)量範圍：0.005～80ml/h，計(ji)量精度(du)：0.1% F.S；

4. 系(xi)統(tong)耐(nai)壓：70 MPa；

5. 模型(xing)規格：光刻(ke)模型(xing)：45×45mm。

三(san)、系(xi)統(tong)組(zu)成

微(wei)觀驅替(ti)物(wu)模系(xi)統(tong)主要由(you)註(zhu)入系(xi)統(tong)、模型(xing)系(xi)統(tong)、計(ji)量(liang)系(xi)統(tong)、數據及圖像(xiang)采集(ji)處理系(xi)統(tong)四(si)個(ge)部分(fen)組(zu)成。詳(xiang)見(jian)系(xi)統(tong)流(liu)程(cheng)圖(tu)

（1）註(zhu)入系(xi)統(tong)由(you)註(zhu)入泵(beng)、中間容器、真(zhen)空(kong)泵(beng)、環壓泵(beng)等(deng)組(zu)成。可提供(gong)註入水(shui)/氣(qi)體(ti)/化學(xue)劑等多(duo)重(zhong)介(jie)質，用(yong)於註入模型(xing)本體(ti)。在(zai)設(she)計流(liu)程(cheng)時，要(yao)求整(zheng)個(ge)流程(cheng)，包(bao)括使(shi)用(yong)的管(guan)閥件(jian)死(si)體(ti)積(ji)盡(jin)可能(neng)小(xiao)。

（2）模型(xing)系(xi)統(tong)由(you)高(gao)溫高(gao)壓可視模型(xing)、平(ping)射光源、恒(heng)溫箱(xiang)等組(zu)成。

（3）計(ji)量系(xi)統(tong)由(you)測(ce)壓傳(chuan)感(gan)器、溫控儀、計(ji)量管(guan)和回壓系(xi)統(tong)等(deng)組(zu)成。

（4）數據及圖像(xiang)采集(ji)處理系(xi)統(tong)包(bao)括高(gao)倍顯微(wei)鏡(jing)、彩(cai)色攝像(xiang)頭、圖像(xiang)采集(ji)卡、數碼照相(xiang)機(ji)、臺式(shi)電(dian)腦(nao)、微(wei)觀驅替(ti)數據及圖像(xiang)分(fen)析軟件等。